薄膜沉積設備的運行需要多種關鍵材料,如高純度氣體(如硅烷、氨氣等)和靶材(如鋁、銅、鉭等)。這些材料的質(zhì)量和供應穩(wěn)定性對薄膜沉積設備的性能和可靠性至關重要。
例如,高純度氣體的供應受到原材料供應、生產(chǎn)能力和運輸條件等因素的影響。如果氣體供應商出現(xiàn)問題,如生產(chǎn)事故或運輸延誤,將直接影響薄膜沉積設備的正常運行。
靶材的供應也存在類似的風險。一些稀有金屬靶材的供應可能受到資源儲量和國際市場的波動影響。例如,鉭靶材主要用于制造高性能的半導體薄膜,其供應的穩(wěn)定性難以保證。